发明名称 Method for accelerated test of semiconductor devices
摘要
申请公布号 SG54570(A1) 申请公布日期 1998.11.16
申请号 SG19970003530 申请日期 1997.09.24
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORPORATION. 发明人 SHIMADA YASUHIRO;NAKAO KEISAKU;INOUE ATSUO;AZUMA MASAMICHI;FUJII EIJI
分类号 G01R31/26;G01R31/28;G01R31/30;G11C11/22;G11C29/50;G11C29/56;H01L21/66;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):G11C29/00 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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