发明名称 DEVICE FOR COATING SUBSTRATES IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURE
摘要
申请公布号 KR0159247(B1) 申请公布日期 1998.11.16
申请号 KR19960070938 申请日期 1996.02.26
申请人 STEAG MICRO-TECH GMBH 发明人 MUHLFRIEDEL, EBERHARD;KALLIS, MARIN;APPICH, KARL
分类号 B05C9/12;B05C11/08;B05C11/105;H01L21/00;(IPC1-7):B05C11/105 主分类号 B05C9/12
代理机构 代理人
主权项
地址