发明名称 Chamber design with isolation valve to preserve vacuum during maintenance
摘要
申请公布号 SG54623(A1) 申请公布日期 1998.11.16
申请号 SG19980000676 申请日期 1998.03.31
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 DAVENPORT, ROBERT, E.
分类号 B01J3/00;C23C14/00;C23C14/34;C23C14/56;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/00 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
主权项
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