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发明名称 SUBSTRATE CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10303157(A) 申请公布日期 1998.11.13
申请号 JP19970112794 申请日期 1997.04.30
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 NISHIMURA JOICHI;OTANI MASAMI;IMANISHI YASUO;TSUJI MASAO;IWAMI MASAKI;MORITA AKIHIKO
分类号 B08B1/04;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B1/04
代理机构 代理人
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