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发明名称 LID OPENING AND CLOSING DEVICE FOR VACUUM-TANK
摘要
申请公布号 JPH10299900(A) 申请公布日期 1998.11.13
申请号 JP19970107390 申请日期 1997.04.24
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 TAKESHITA MITSUNORI
分类号 F16J13/22;B01J3/03;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/64;(IPC1-7):F16J13/22 主分类号 F16J13/22
代理机构 代理人
主权项
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