发明名称 EVALUATION OF INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPH10303263(A) 申请公布日期 1998.11.13
申请号 JP19970107419 申请日期 1997.04.24
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OKADA KENJI
分类号 G01R31/26;G01R31/12;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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