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发明名称 ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH10303093(A) 申请公布日期 1998.11.13
申请号 JP19970105691 申请日期 1997.04.23
申请人 HITACHI LTD 发明人 TSUNODA MASAHIRO;KOBAYASHI TOSHITAKA
分类号 H01J37/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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