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发明名称 PROBE AND PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH10300779(A) 申请公布日期 1998.11.13
申请号 JP19970109907 申请日期 1997.04.25
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAKAGI RYOICHI;MIZUTA MASAHARU
分类号 G01R1/067;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/067 主分类号 G01R1/067
代理机构 代理人
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