| 发明名称 |
MANUFACTURE OF THIN FILM GAS SENSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10300707(A) |
申请公布日期 |
1998.11.13 |
| 申请号 |
JP19970105536 |
申请日期 |
1997.04.23 |
| 申请人 |
FUJI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
KAWADA YASUYUKI;ONODERA KATSUMI;INOUE FUMIHIRO;TSUDA KOICHI |
| 分类号 |
G01N27/12;(IPC1-7):G01N27/12 |
主分类号 |
G01N27/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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