| 发明名称 |
PHOTOGRAPH PROCESSING METHOD |
| 摘要 |
PURPOSE:To obtain a processing method of high quality without alteration on account of alien substances or abnormal projections. |
| 申请公布号 |
JPS51117033(A) |
申请公布日期 |
1976.10.14 |
| 申请号 |
JP19750041335 |
申请日期 |
1975.04.07 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SUNAMI HIDEO;WADA YASUO;YANAGISAWA HIROSHI |
| 分类号 |
H01L21/027;G03F1/00;G03F1/68;G03F1/80;G03F7/26 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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