发明名称 SCANNING-TYPE PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH10300758(A) 申请公布日期 1998.11.13
申请号 JP19970110678 申请日期 1997.04.28
申请人 SHIMADZU CORP;TOYOTA GAKUEN 发明人 KONAKAWA RYOHEI;FURUYA KATSUSHI;MORI NAOTAKE
分类号 G01B21/30;G01N37/00;G01Q30/06;G01Q70/06;G01Q90/00;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
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