发明名称 |
SCANNING-TYPE PROBE MICROSCOPE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10300758(A) |
申请公布日期 |
1998.11.13 |
申请号 |
JP19970110678 |
申请日期 |
1997.04.28 |
申请人 |
SHIMADZU CORP;TOYOTA GAKUEN |
发明人 |
KONAKAWA RYOHEI;FURUYA KATSUSHI;MORI NAOTAKE |
分类号 |
G01B21/30;G01N37/00;G01Q30/06;G01Q70/06;G01Q90/00;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01B21/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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