发明名称 SURFACE SHAPE MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10300759(A) 申请公布日期 1998.11.13
申请号 JP19970105974 申请日期 1997.04.23
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 MIYAMOTO YASUSHI
分类号 G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/06;G01Q60/24;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
地址