发明名称 PROCESSING METHOD FOR SINGLE CRYSTAL SEMICONDUCTOR WAFER FOR FLUORESCENT CHARACTER DISPLAY TUBE
摘要
申请公布号 JPH10302634(A) 申请公布日期 1998.11.13
申请号 JP19970104617 申请日期 1997.04.22
申请人 FUTABA CORP 发明人 HONDA KENICHI;TAKANO SADAO;HIRAYAMA SHUNEI;MAKITA YOSHIO;AZETA AKIHIRO
分类号 H01J9/24;H01L21/301;H01L21/78;(IPC1-7):H01J9/24 主分类号 H01J9/24
代理机构 代理人
主权项
地址