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发明名称 ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH10302660(A) 申请公布日期 1998.11.13
申请号 JP19970108825 申请日期 1997.04.25
申请人 JEOL LTD 发明人 KOBAYASHI TATSUJI
分类号 H01J27/20;H01J37/08;(IPC1-7):H01J27/20 主分类号 H01J27/20
代理机构 代理人
主权项
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