| 发明名称 |
DRY ETCHING OF INDIUM AND TIN OXIDE USING C2H5I GAS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10303176(A) |
申请公布日期 |
1998.11.13 |
| 申请号 |
JP19960359785 |
申请日期 |
1996.12.24 |
| 申请人 |
APPLIED KOMATSU TECHNOL INC |
发明人 |
HARUHIRO HARRY GOTO;YU JA SUU;YUAN-KEI WAN;LAW KAM S |
| 分类号 |
H05H1/46;C23F4/00;G02F1/1343;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L31/18;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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