| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10303430(A) |
申请公布日期 |
1998.11.13 |
| 申请号 |
JP19970123089 |
申请日期 |
1997.04.26 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
ONUMA HIDETO;NAKAJIMA SETSUO;YAMAZAKI SHUNPEI |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
