发明名称 |
MAGNIFICATION AND INCLINATION ANGLE MEASUREMENT METHOD |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10302703(A) |
申请公布日期 |
1998.11.13 |
申请号 |
JP19970107046 |
申请日期 |
1997.04.24 |
申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI INSTR ENG CO LTD |
发明人 |
NUMAO YOSHINORI;SHIMOZU TERUO;KANEMURA TAKASHI |
分类号 |
G01B3/00;G01B15/00;G01N1/28;G01N1/32;H01J37/22;(IPC1-7):H01J37/22 |
主分类号 |
G01B3/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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