| 发明名称 |
ELECTRONIC CONTROL REGULATOR FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10303153(A) |
申请公布日期 |
1998.11.13 |
| 申请号 |
JP19970105494 |
申请日期 |
1997.04.23 |
| 申请人 |
CKD CORP |
发明人 |
KAGOHASHI HIROSHI;OSUGI SHIGERU;MURAKUMO HIKARI |
| 分类号 |
F16K24/04;F16K31/126;G05D16/20;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
F16K24/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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