| 发明名称 |
CONTACT PROBE AND PROBE APPARATUS WITH THE SAME |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10300783(A) |
申请公布日期 |
1998.11.13 |
| 申请号 |
JP19970111646 |
申请日期 |
1997.04.28 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
ISHII TOSHINORI;TAI AKIRA;YOSHIDA HIDEAKI |
| 分类号 |
G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 |
主分类号 |
G01R1/073 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
