| 发明名称 |
AUTOMATIC AXIS ADJUSTMENT DEVICE IN SCANNING-TYPE ELECTRON MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10302689(A) |
申请公布日期 |
1998.11.13 |
| 申请号 |
JP19970107053 |
申请日期 |
1997.04.24 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI SCI SYST:KK |
发明人 |
SENHIKI MASARU;KITAZAWA MITSUGI |
| 分类号 |
H01J37/04;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/04 |
主分类号 |
H01J37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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