| 发明名称 |
CAPACITOR HAVING SHIELD MADE OF POLYSILICIDE IN DIGITAL CMOS PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10303373(A) |
申请公布日期 |
1998.11.13 |
| 申请号 |
JP19980110655 |
申请日期 |
1998.04.21 |
| 申请人 |
LSI LOGIC CORP |
发明人 |
EDWARD W RIEU;SEAHOI CAESAR WON |
| 分类号 |
H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8238;H01L27/06;H01L27/08;H01L27/092;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/823 |
主分类号 |
H01L27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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