发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10303215(A) 申请公布日期 1998.11.13
申请号 JP19970112068 申请日期 1997.04.30
申请人 NEC CORP 发明人 HASHIMOTO RYUSUKE
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/331;H01L23/52;H01L29/417;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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