| 发明名称 |
METHOD FOR MEASURING FILM THICKNESS AND MEASURING APPARATUS FOR FILM THICKNESS GAUGE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10300412(A) |
申请公布日期 |
1998.11.13 |
| 申请号 |
JP19970126207 |
申请日期 |
1997.05.01 |
| 申请人 |
SANKO DENSHI KENKYUSHO:KK |
发明人 |
KENMOCHI TOKIO;KAJIWARA KENJI;KOTANI YASUHIRO |
| 分类号 |
G01B7/06;G01B7/00;G01R33/02;(IPC1-7):G01B7/06 |
主分类号 |
G01B7/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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