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发明名称 Gleichmässig beschichtete Photolackzusammensetzung
摘要
申请公布号 DE69227210(D1) 申请公布日期 1998.11.12
申请号 DE19926027210 申请日期 1992.02.11
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 CORNETT, KATHLEEN MARIE, WAPPINGERS FALLS, NY 12590, US;HEFFERON, GEORGE JOSEPH, FISHKILL, NEW YORK 12524, US;MONTGOMERY, MELVIN WARREN, NEW WINDSOR, NY 12553, US;MOREAU, WAYNE MARTIN, WAPPINGERS FALLS, NY 12590, US
分类号 G03F7/004;G03F7/022;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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