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发明名称 Verfahren und Gerät zur Plasmabehandlung unter atmosphärischem Druck
摘要
申请公布号 DE69032691(D1) 申请公布日期 1998.11.12
申请号 DE19906032691 申请日期 1990.12.07
申请人 RESEARCH DEVELOPMENT CORP. OF JAPAN, TOKIO/TOKYO, JP 发明人 HORIIKE, YASUHIRO, HIROSHIMA-SHI, HIROSHIMA, JP;OKAZAKI, SATIKO, SUGINNAMI, TOKYO, JP;KOGOMA, MASUHIRO, WAKO-SHI, SAITAMA, JP
分类号 H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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