发明名称 Verfahren zur Herstellung von Photolackmustern
摘要
申请公布号 DE69032464(T2) 申请公布日期 1998.11.12
申请号 DE1990632464T 申请日期 1990.10.19
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 TAKECHI, SATOSHI, MACHIDA-SHI, KANAGAWA 211, JP;NAKAMURA, YUKO, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA 211, JP;KOTACHI, AKIKO, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA 223, JP
分类号 G03F7/039;G03F7/32;(IPC1-7):G03F7/32 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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