发明名称 Procédé de fabrication de réseaux de transistors sur lamelle avec éléments de test incorporés
摘要
申请公布号 FR1425149(A) 申请公布日期 1966.01.14
申请号 FR19650006642 申请日期 1965.02.23
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人
分类号 G01R31/28;H01L21/8222;H01L23/544 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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