发明名称 |
VERTICAL OPERATION TYPE PROBE CARD AND PROBE UNIT USED IN THE SAME |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10300786(A) |
申请公布日期 |
1998.11.13 |
申请号 |
JP19970118812 |
申请日期 |
1997.04.21 |
申请人 |
NIPPON DENSHI ZAIRYO KK |
发明人 |
OKUBO MASAO;IWATA HIROSHI;OKUBO KAZUMASA |
分类号 |
G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 |
主分类号 |
G01R1/073 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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