发明名称 VERTICAL OPERATION TYPE PROBE CARD AND PROBE UNIT USED IN THE SAME
摘要
申请公布号 JPH10300786(A) 申请公布日期 1998.11.13
申请号 JP19970118812 申请日期 1997.04.21
申请人 NIPPON DENSHI ZAIRYO KK 发明人 OKUBO MASAO;IWATA HIROSHI;OKUBO KAZUMASA
分类号 G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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