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发明名称 WEDGE PROBE
摘要
申请公布号 JPH10300814(A) 申请公布日期 1998.11.13
申请号 JP19980077319 申请日期 1998.03.25
申请人 HEWLETT PACKARD CO <HP> 发明人 ROBERT H WARDWELL
分类号 G01R31/26;G01R1/067;G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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