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发明名称 Halbleiterstruktur mit einer 2D-Ladungsträgerschicht und Herstellungsverfahren
摘要
申请公布号 DE59010851(D1) 申请公布日期 1998.11.12
申请号 DE19905010851 申请日期 1990.04.11
申请人 MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER WISSENSCHAFTEN EV, 37073 GOETTINGEN, DE 发明人 WIECK, ANDREAS, DR., D-7032 SINDELFINGEN, DE;PLOOG, KLAUS, DR., D-7000 SUTTGART 1, DE
分类号 H01L21/027;H01L21/265;H01L21/82;H01L23/32;H01L27/06;H01L29/06;H01L29/10;H01L29/76;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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