| 摘要 |
<p>Es wird von einem bekannten Quarzglas-Bauteil in Form einer Glocke für eine Reaktorkammer, insbesondere für die Reaktorkammer einer Plasma-Ätzvorrichtung ausgegangen. Das bekannte Quarzglas-Bauteil umfaßt einen Substratkörper aus einer ersten Quarzglas-Qualität, mit einer einem Reaktor-Innenraum zugewandten Innenoberfläche, die in mindestens einem Aufrauhungsbereich eine mittlere Rauhtiefe Ra von mehr als 1νm aufweist. Um hiervon ausgehend ein Quarzglas-Bauteil für ein Reaktorgehäuse anzugeben, das möglichst keine Partikel in der Reaktorkammer erzeugt, und dessen dem Reaktorinnenraum zugewandte Innenoberfläche sich durch hohe Haftfestigkeit für darauf abgeschiedene Materialschichten und eine besonders lange Lebensdauer auszeichnet, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, daß der Aufrauhungsbereich von einer auf dem Substratkörper ausgebildeten Blasenschicht aus einer zweiten Quarzglas-Qualität gebildet wird, die offene Poren aufweist. Ein einfaches Verfahren zur Herstellung eines derartigen Quarzglas-Bauteils, das die reproduzierbare Einstellung einer vorgegebenen Oberflächenrauhigkeit ermöglicht, umfaßt die folgenden Verfahrensschritte: Formen eines Rohlings aus SiO2-haltiger Körnung, teilweises oder vollständiges Verglasen des Rohlings durch Erhitzen auf eine Temperatur oberhalb von 1000 °C, wobei der SiO2-haltigen Körnung beim Formen der Innenoberfläche des Rohlings in einem Aufrauhungsbereich eine beim Verglasen unter Freisetzung eines Gases reagierende Zusatzkomponente zugemischt wird, wodurch beim Verglasen im Aufrauhungsbereich eine porenhaltige Blasenschicht erzeugt wird.</p> |
