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发明名称 Ultraviolet resistive antireflective coating
摘要
申请公布号 EP0626596(B1) 申请公布日期 1998.11.11
申请号 EP19940303686 申请日期 1994.05.23
申请人 LITTON SYSTEMS, INC. 发明人 LU, SAMUEL;SUN, MING-JAN;STEWART, ALAN F.;LOUDERBACK, ANTHONY W.
分类号 G01C19/66;G01B9/02;G01P9/00;G02B1/10;G02B1/11;G02B5/28;H01S3/08;(IPC1-7):G02B1/10 主分类号 G01C19/66
代理机构 代理人
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