| 发明名称 |
Method for manufacturing epitaxial wafer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0822274(A3) |
申请公布日期 |
1998.11.11 |
| 申请号 |
EP19970305458 |
申请日期 |
1997.07.22 |
| 申请人 |
SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY, LIMITED |
发明人 |
OSE, HIROKI |
| 分类号 |
C30B29/06;C30B25/02;C30B31/06;H01L21/205;H01L21/336;H01L29/739;H01L29/78;(IPC1-7):C30B25/02 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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