发明名称 Method of bonding silicon wafers
摘要
申请公布号 EP0660117(B1) 申请公布日期 1998.11.11
申请号 EP19940203450 申请日期 1994.11.28
申请人 GENERAL MOTORS CORPORATION;DELCO ELECTRONICS CORPORATION 发明人 LEE, HAN-SHENG;CHILCOTT, DAN WESLEY;STALLER, STEVEN EDWARD
分类号 G01P15/08;(IPC1-7):G01P15/08 主分类号 G01P15/08
代理机构 代理人
主权项
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