| 发明名称 |
PRODUCTION OF THIN FILM AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10298758(A) |
申请公布日期 |
1998.11.10 |
| 申请号 |
JP19970109230 |
申请日期 |
1997.04.25 |
| 申请人 |
KAO CORP |
发明人 |
KITAORI NORIYUKI;YOSHIDA OSAMU;MIZUNOYA HIROHIDE;ENDO KATSUMI;MIYAMURA TAKESHI |
| 分类号 |
C23C14/56;G11B5/85;(IPC1-7):C23C14/56 |
主分类号 |
C23C14/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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