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发明名称 METAL DOUBLE ALKOXIDE COMPOSITION FOR VAPOR GROWTH, FEEDING METHOD THEREFOR, AND PRODUCTION OF THIN MULTIPLE OXIDE FILM USING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH10298760(A) 申请公布日期 1998.11.10
申请号 JP19970144474 申请日期 1997.04.25
申请人 KOJUNDO CHEM LAB CO LTD 发明人 KADOKURA HIDEKIMI;MATSUMOTO MASAMICHI;OKUHARA YUMIE
分类号 C30B29/26;C23C16/40;C30B29/30;H01B3/00;(IPC1-7):C23C16/40 主分类号 C30B29/26
代理机构 代理人
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