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发明名称 CLEANING METHOD
摘要
申请公布号 JPH10296198(A) 申请公布日期 1998.11.10
申请号 JP19970137381 申请日期 1997.04.22
申请人 KITADA ATSUSHI 发明人 KITADA ATSUSHI
分类号 B08B3/08;B01D61/44;C02F1/46;C23G1/14;C25F3/14;C25F7/00;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/08 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
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