| 发明名称 |
PROCEDE DE FABRICATION DE SILICIURE AUTO-ALIGNE AMELIORE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2752331(B1) |
申请公布日期 |
1998.11.06 |
| 申请号 |
FR19960016293 |
申请日期 |
1996.12.31 |
| 申请人 |
UNITED MICROELECTRONICS CORPORATION |
发明人 |
JENQ JASON;CHEN TUNG PO |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/285;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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