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发明名称
摘要
申请公布号
JP2820378(B2)
申请公布日期
1998.11.05
申请号
JP19950018507
申请日期
1995.01.10
申请人
发明人
分类号
C23C2/12;C23C2/30;C23C2/34;(IPC1-7):C23C2/30
主分类号
C23C2/12
代理机构
代理人
主权项
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