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发明名称
摘要
申请公布号	JP2820263(B2)	申请公布日期	1998.11.05
申请号	JP19890062207	申请日期	1989.03.16
申请人		发明人
分类号	H01L21/28;H01L21/283;(IPC1-7):H01L21/28	主分类号	H01L21/28
代理机构		代理人
主权项
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