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发明名称
摘要
申请公布号
JP2819821(B2)
申请公布日期
1998.11.05
申请号
JP19900306101
申请日期
1990.11.14
申请人
发明人
分类号
H01L21/285;H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/40;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786;H01L21/320
主分类号
H01L21/285
代理机构
代理人
主权项
地址
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