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发明名称 Gerät und Verfahren zur Beobachtung einer dreidimensionalen Anordnung von Atomen
摘要
申请公布号 DE69227146(D1) 申请公布日期 1998.11.05
申请号 DE1992627146 申请日期 1992.05.13
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KAKIBAYASHI, HIROSHI, NAGAREYAMA-SHI, CHIBA-KEN 270-01, JP;MITSUI, YASUHIRO, FUCHU-SHI, TOKYO 183, JP;TODOKORO, HIDEO, NITSHITAMA-GUN, TOKYO 190-01, JP;KURODA, KATSUHIRO, HACHIOUJI-SHI, TOKYO 193-03, JP
分类号 H01J37/20;G01N23/04;G01Q30/02;G01Q60/10;G01Q80/00;G01R31/305;H01J37/22;H01J37/244;H01J37/28;(IPC1-7):G01N23/04 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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