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发明名称 Extrinsisches Gettering für ein halbleitendes Substrat
摘要
申请公布号 DE69227158(D1) 申请公布日期 1998.11.05
申请号 DE19926027158 申请日期 1992.07.08
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 NETSU, SHIGEYOSHI, 68000 AMPANG SELANGOR DARUL EHSAN, MY;TOMIZAWA, SHINICHI, ANNAKA-SHI, GUNMA-KEN, JP
分类号 H01L21/304;H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/322 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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