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发明名称
摘要
申请公布号 JP2820062(B2) 申请公布日期 1998.11.05
申请号 JP19950085835 申请日期 1995.04.12
申请人 发明人
分类号 G01R31/02;G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
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