| 发明名称 |
Plasmarektor mit Prallströmung zur Oberflächenbehandlung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE29800950(U1) |
申请公布日期 |
1998.11.05 |
| 申请号 |
DE19982000950U |
申请日期 |
1998.01.21 |
| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG EV, 80636 MUENCHEN, DE |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C16/455;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32;H05H1/46;B01J19/08 |
主分类号 |
C23C16/455 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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