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发明名称
VERFAHREN ZUR VERKÜRZTEN ALTERUNGSPRÜFUNG VON HALBLEITERBAUSTEINEN
摘要
申请公布号
DE69318845(T2)
申请公布日期
1998.11.05
申请号
DE19936018845T
申请日期
1993.09.27
申请人
CREE RESEARCH, INC., DURHAM, N.C., US
发明人
EDMOND, JOHN, A., APEX, NC 27502, US;ASBURY, DOUGLAS, A., CHAPEL HILL, NC 27516, US;CARTER, CALVIN, H., JR., CARY, NC 27516, US;WALTZ, DOUGLAS, G., DURHAM, NC 27707, US
分类号
G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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