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发明名称
摘要
申请公布号 JP2821286(B2) 申请公布日期 1998.11.05
申请号 JP19910195642 申请日期 1991.08.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/306;B24B49/16;C23F1/02;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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