发明名称 |
金属离子含量低的4,4'-[1-[4-[1-(4-羟基苯基)-1-甲基乙基]苯基]-1,1-亚乙基]双酚及其光敏抗蚀剂组合物 |
摘要 |
本发明提供制备金属离子含量低的TPPA的方法,采用了处理过的离子交换树脂。还提供了从这种TPPA制备光敏抗蚀剂组合物的方法,以及采用这种光敏抗蚀剂组合物生产半导体器件的方法。 |
申请公布号 |
CN1198149A |
申请公布日期 |
1998.11.04 |
申请号 |
CN96197304.8 |
申请日期 |
1996.09.25 |
申请人 |
克拉里安特国际有限公司 |
发明人 |
M·D·拉曼;D·P·奥宾 |
分类号 |
C07C39/15;C07C29/76;C08G8/08;G03F7/022 |
主分类号 |
C07C39/15 |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
黄淑辉 |
主权项 |
1.一种制备金属离子含量低的TPPA的方法,包括:a)用去离子(DI)水清洗酸性离子交换树脂,随后用无机酸溶液清洗,再用DI水清洗,从而降低离子交换树脂中钠和铁离子含量至各低于200ppb;b)用DI水清洗阴离子交换树脂,随后用无机酸溶液清洗,再用DI水清洗,然后用氢氧化铵溶液清洗,再用DI水清洗,从而降低阴离子交换树脂中钠和铁离子含量至各低于200ppb;c)制备在DI水中的TPPA浆,固含量约1-20%,并过滤得到滤饼;d)将滤饼倒入DI水中,再制备浆液,固含量约1-20%,并过滤;e)制备TPPA的滤饼在极性溶剂或极性溶剂混合物中的溶液;f)将TPPA溶液通过所述阳离子交换树脂,随后通过所述阴离子交换树脂,从而降低所述TPPA溶液中的金属离子含量至各低于100ppb;g)将TPPA溶液加入DI水中,从而沉淀出TPPA;h)通过过滤器过滤TPPA,并且干燥TPPA。 |
地址 |
瑞士穆坦兹 |