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发明名称 THIN-FILM SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10294467(A) 申请公布日期 1998.11.04
申请号 JP19970116586 申请日期 1997.04.18
申请人 SONY CORP 发明人 HARA MASATERU
分类号 H01L21/20;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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