发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10294458(A) 申请公布日期 1998.11.04
申请号 JP19970104139 申请日期 1997.04.22
申请人 SHARP CORP 发明人 NISHIO OSAMU
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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